淄博匯諾機械設備有限公司
各類水環泵/真空機組銷售生產廠家
擴散泵真空機組概述：
擴散泵真空機組是以擴散泵做為主泵，串以機械泵（一般常用2X型旋片式真空泵、滑閥真空泵）、和增壓泵，并配以多種閥門、儀表組成的高真空獲得應用產品?？色@得真空為10-4pa，抽氣量300-40000L/S供用戶選擇。擴散泵真空機組具有高真空、大抽速、真空穩定等特點，被廣泛應用在電子、化工、冶金、航天、材料、生物醫藥、原子能、宇宙探測等高科技領域。如各種真空爐、真空冷凍干燥設備、真空冶煉、真空燒結、真空熱處理、真空鍍膜、真空釬焊、真空浸漬、太空模擬試驗裝置等高科技設備的高真空獲得。
擴散泵真空機組運行簡介：
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1、2X旋片式真空泵 |
2、機架 |
3、電磁充氣閥 |
4、閥門A |
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5、羅茨真空泵 |
6、真空測量接頭 |
7、金屬真空波紋管 |
8、放氣閥 |
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9、閥門B |
10、真空測量接頭 |
11、真空測量接頭 |
12、閥門C |
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13、冷阱 |
14、擴散真空泵 |
16、擴散泵支架 |
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擴散泵單獨不能使用，一定要串聯前級泵，如有必要需在串聯1臺中間增壓泵進行工作（以下以前級泵以2X系列旋片式真空泵為例、中間增壓泵以ZJP羅茨真空泵為例）。
擴散泵真空機組開啟順序：
1、關閉擴散泵真空機組連接系統的閥門C，關閉閥門A、B對2X旋片式真空泵和羅茨泵進行正反轉試車。
2、確定轉向后，打開閥門C、打開閥門B，并運行2X旋片式真空泵。
3、至真空抽至1000pa時，開啟羅茨真空泵直至真空度達到10pa以內。
4、打開A閥門，同時關閉B閥門（此時真空度會有一定下降）。
5、當真空度回升到10pa以內后，開啟擴散真空泵加熱爐，直至擴散泵機組正常工作。
擴散泵真空機組關閉順序：
1、關閉閥門C，并停止擴散泵加熱爐。
2、運行10分鐘左右關閉羅茨真空泵。
3、等待擴散泵油溫降至40攝氏度左右時，關閉閥門A，同時關閉2X旋片式真空泵。
4、當擴散泵泵殼溫度降到室溫時，打開放氣閥8。機組關閉完成。
使用擴散泵真空機組注意事項。
1、自擴散泵運行到整套機組關閉，擴散泵冷卻水不能停止。
2、真空度高于10pa及以上時，擴散泵不得開啟加熱爐。
3、擴散泵運行期間，如遇突然停電時，應迅速關閉閥門A、B、C。
擴散泵真空機組選型參考
1、首先確定系統所需真空度。
確定好系統所需真空度后，方可選擇是否配備冷阱、羅茨真空泵、冷卻水溫度等。
注：冷卻水溫度范圍為1-20攝氏度。冷卻水溫度越低，真空度越高。反之則真空度低。
2、選擇擴散泵真空機組所配閥門。
一般選擇閥門有手動高真空蝶閥、氣動高真空蝶閥、氣動高真空球閥、高真空擋板閥。
自動化程度越高，所配置閥門越多，價格越高。反之手動高真空蝶閥價格更低。不推薦使用電動閥門。
3、了解系統在高真空下生產的產氣量大小。
如若在高真空下系統產氣量微弱，可考慮增設1臺維持泵，以避免造成電能浪費。
擴散真空泵機組常用選型配置表
|
型號 Model |
JTK-100 |
JTK-150 |
JTK-200 |
JTK-300 |
JTK-400 |
JTK-500 |
JK-100 |
JK-150 |
JK-200 |
JK-300 |
JK-400 |
JK-630 |
JK-800 |
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壓力(Pa) |
10-4 |
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抽氣速率(L/S) |
180 |
370 |
600 |
1400 |
2500 |
4000 |
100 |
280 |
420 |
900 |
1800 |
4000 |
6500 |
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排氣壓力(Pa) |
35 |
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加熱功率(Kw) |
0.8 |
1.2 |
1.5 |
2.4 |
4.5 |
6 |
0.8 |
1 |
1.5 |
2.1 |
4.8 |
8.4 |
19.8 |
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|
配用主泵 |
TK-100 |
TK-150 |
TK-200 |
TK-300 |
TK-400 |
TK-500 |
K-100 |
K-150 |
K-200 |
K-300 |
K-400 |
K-630 |
K-800 |
|
|
配用擋板 |
LB-100 |
LB-150A |
LB-200B |
LB-300A |
LB-400 |
LB-500 |
LB-100 |
LB-150A |
LB-200B |
LB-300A |
LB-400 |
LB-630 |
LB-800 |
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|
配用閥門 |
GD-100 |
GD-150 |
GD-200 |
GDQ-300 |
GDQ-400 |
GDQ-500 |
GD-100 |
GD-150 |
GD-200 |
GDQ-300 |
GDQ-400 |
GDQ-630 |
GDQ-800 |
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配用前級泵 |
2X-4 |
2X-8 |
2X-15 |
2X-30 |
2X-70 |
2X-70 ZJ-600 |
2X-4 |
2X-8 |
2X-8 |
2X-15 |
2X-30 |
2X-70 |
2X-70 ZJ-600 |
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接口法蘭 |
LF-100 |
LF-150 |
LF-200 |
LF-300 |
LF-400 |
LF-500 |
LF-100 |
LF-150 |
LF-200 |
LF-300 |
LF-400 |
LF-630 |
LF-800 |
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結構尺寸(mm) |
H |
870 |
950 |
1000 |
1300 |
1600 |
1700 |
870 |
950 |
1000 |
1300 |
1600 |
2000 |
2400 |
|
L |
650 |
750 |
850 |
950 |
1150 |
1500 |
550 |
650 |
750 |
850 |
950 |
1100 |
2000 |
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擴散泵真空機組的優缺點
擴散泵的優點：
1、對一般油擴散泵的結構進行改進，如減少油蒸氣的返流，加分鎦裝置，合理分配加熱功率，改進噴嘴角度設計，加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使擴散泵性能大大改善，真空可達到更低的壓強；
2、維護簡單；
3、費用低；
4、不易出故障；
擴散泵的缺點：
1、擴散泵需要冷卻水，開關機須等待；
2、易造成樣品室污染；
3、如果前級泵所產生的壓強高于反壓強，則擴散泵就不能正常工作。
擴散泵比分子泵在開關機時間上均要長上十分鐘，需要水冷系統，但在可獲得的真空度方面，卻要高上一個數量級。了解一個產品的優缺點，對于更合理的使用這種產品有事半功倍的效果，擴散泵有著它的優勢，但是同時它也存在著缺點，但是如果能夠不斷的改進它的缺點，優化其優點，對于產品的進一步提升有不可估量的效果。這也應該成為未來研究擴散泵的一個方向，專業人士應該重視這方面的研究。
